作者：李冬梅 黄元庆  张佳平  张鑫  辜克兢

单位：厦门大学机电工程系  邮编：361005

中图分类号: TP212.2       

文献标识码: A　　　

文章编号：1006-883X(2006)01-0006-07

摘要：气体传感器日渐发展，其应用的范围越来越广，特别是在环境质量检测和工业生产过程安全检测、保障人民的生命安全等方面越加广泛。简要介绍了各种气体传感器的工作原理，并对常见几种有毒性气体（一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫及氮化物）和可燃性气体（氢气、甲烷）的各种类型传感器的研究进展和工作机理以及敏感材料进行了介绍，同时对MEMS工艺制作气体传感器进行了展望。

关键词 ：敏感材料；气体传感器；有毒气体；可燃性气体；MEMS技术

The Development Of Several Normal Gas Sensors

Abstract: With the development of the gas sensor, more and more applications are implemented, especially in testing the environment quality and the industry’s safety production, even people’s life. The gas sensors’working principles including the new development of several normal poisonous gases and flammable gases will be introduced. A novel production technics－MEMS which is applied to fabricate the gas sensor will also be mentioned.

Keywords：sensitive materials; gas sensor; poisonous gas; flammable gas; MEMS technology

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备注：2006年  第12卷  第1期