Aerotech推出一系列Z轴压电纳米定位平台,可满足极高精度要求的科研和工业需求。此款新型QNP-Z平台与现有的包括QNP-L直线平台和QNP-XY平台在内的产品,为精度要求最高的应用提供了全套解决方案。
它们具有很高的分辨率、线性、重复性和高动态性能,能够满足显微镜到光学对准等最严苛的应用需求。该平台具有0.15 nm的分辨率,0.007%的线性和1 nm的双向重复性, 从而保证了纳米级精度。
各种行程范围(100μm~600μm)、反馈选项和真空版本增加了此平台系列的多样性。它们由精密柔性铰链导向,用有限元分析法进行优化。这种设计具有出色的刚度和高谐振频率(高达 1050 Hz),能够实现高产能和快速闭环响应。
所有QNP平台都具有优异的几何性能(直线度和角度误差),同时将整体包装尺寸降低到最小。还备有转接板,使直线单轴平台、XY和Z轴平台能够安装在一起进行同步多轴定位。
应用包括:测试和检测、政府与高校实验室、军事、纳米技术、显微镜、半导体、微电子、光学、光电、数据存储、精密机械、金属、生命科学、医疗器械。(艾罗德克运动控制技术(上海)有限公司)
备注:2016年 第22卷 第04期