【公 开 号】CN201788171U 
【公 开 日】2011.04.06
【分 类 号】G01N29/02(2006.01)I 
【申 请 日】2010.08.20
【申 请 人】中国人民解放军第三军医大学第三附属医院 
【地        址】400042 重庆市渝中区大坪长江支路10号
【发 明 人】张可珺;陈鸣;唱凯;贾双荣;李发科 
【代理机构】北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 
【代 理 人】赵荣之
【摘        要】本实用新型公开了一种多重薄膜结构的声表面波气体传感器，包括压电基片，所述压电基片上设有输入叉指换能器和输出叉指换能器，所述压电基片上输入叉指换能器和输出叉指换能器之间构成声表面波传播通道，在声表面波传播通道上覆盖有气体敏感薄膜，所述气体敏感薄膜由从压电基片表面往外依次覆盖的金属氧化物薄膜层和聚合物薄膜层构成；本实用新型在不明显增加工艺难度的情况下，显著的增强了传感器在常温下的灵敏度。  

备注：2011年 第17卷 第04期 编号056□