供稿：中北大学 王会强 郝晓剑 周汉昌
摘要：在对PerkinElmer公司的MEMS热电堆红外探测器静态和动态特性实验研究的基础上，本文提出了由MEMS热电堆、红外衰减片、靶体和存储模块组成瞬态表面高温测试装置的方案，对拓宽测温上限的关键元件——红外陶瓷衰减片进行了较深入的研究，用MEMS热电堆测量方法测量了氧化锆陶瓷片红外吸收系数，得出了不同厚度氧化锆（熔点为2715℃）陶瓷片红外衰减倍数曲线，为基于MEMS热电堆的表面高温测试装置的设计提供了依据。
 

中北大学 王会强 郝晓剑 周汉昌
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