美国MKS流量计

美国MKS INSTRUMENTS成立于1961年，作为半导体零部件的供应商，在气体、真空仪器及制程控制应用等方面有技术独到之处，MKS INSTRUMENTS产品起源于压力测量和控制核心技术，延伸到材料递送、气体成分分析、静电荷控制、工艺控制、信息管理、电源和反应气体发生器及真空技术，其产品广泛地应用于各种半导体生产设备和制造过程中。

主要产品：美国MKS流量计、美国MKS薄膜真空计、美国MKS传感器、美国MKS流量
          控制阀、美国MKS压力开关
代表型号：

MKS AX7690           MKS AX3060            MKS AX7610,AX2500
MKS AX2600           MKS AX7670            MKS AX7680
MKS AX7685           MKS AX7645            MKS LIQUOZON
MKS NOVA-25          MKS NOVA-50SPECTRUMB5002
MKS SPECTRUMB11002   MKS ACG-3B            MKS ACG-6B  
MKS ACG-10B          MKS GHW-12            MKS GHW-25
MKS GHW-50,          MKS SPECTRUM 3013     MKS SUREPOWER QL3513,
MKS SUREPOWER QL6513 MKS SUREPOWER QL10513 MKS SUREPOWER QL13013,
MKS OPTIMA OPT-50    MKS OPTIMA OPT-100    MKS OPTIMA OPT-200,
MKS OPTIMA OPT-400   MKS OPTIMA OPT-600    MKS RPG-50,RPG-100
MKS,ENI-RFPC         MKS MWH-5             MKS ENI-2500-13.56
MKS,MWH-100          MKS MWH-25            MKS VI PROBE
MKS 1249A            MKS 148JA11CR1M       MKS 148JA12CR1M
MKS 148JA13CR1M      MKS 148JA14CR1M
MKS 148JA21CR1M      MKS 148JA22CR1M
MKS 148JA23CR1M      MKS 148JA24CR1M
MKS 148JA51CR1M      MKS 148JA52CR1M
MKS 148JA53CR1M      MKS 0154A-200LSV
MKS 154A-200LRV      MKS 244E-1-VPO        MKS 244E-1-PLO
MKS 0244E-4-VPO      MKS 244E-4-PLO        MKS 245,247D
MKS 0248A-00010RV    MKS 0248A-00010SV  
MKS 0248A-00050RV    MKS 0248A-00050SV
MKS 0248A-00100RV    MKS 0248A－00100SV
MKS 0248A-005050RV   MKS 0248A-00500SV
MKS 0248A-01000RV